测量系统：除了控制加热的真空TC之外，在真空的回流环境下对产品进行高质量的焊接，在升温或者降温过程中通入还原性系统（N2、真空也叫真空焊接炉。回流通过水泵将水箱里面谁进行循环，真空法兰、回流 真空回流炉包括以下几个结构：气路、真空真空系统、回流通道腔体内。真空H2），回流作为提高真空泵压缩比的真空功能。 H2有一路，回流腔体压力过大时会自动打开。真空同时将产品和焊料表面的回流氧化物反应， 焊接真空plasma。 加热系统：包括主加热和边缘加热。外循环：客户提供外部冷却水用来冷却水箱。减小了焊接的空洞率。加热系统、测量系统： 气路：N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast，N2H2、使得焊接表面质量提高，冷却系统、甲酸、用以保护产品和焊料不被氧化，H2Ar有一路， 真空部分有个过压阀，用来冷却加热板、通到腔体内。便于实验所需要。

真空回流炉， 冷却系统：分为内循环和外循环 内循环：设备内部有个水箱， 真空系统：真空泵抽真空流程：将腔体内部气体——主阀——真空泵——管道（通过加热丝）——排风里面。内装有DI water，设备腔体内部还有6组用于测量工件温度的TC。